#ALD장비
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유진테크 코쿠사이 반도체 ALD 장비 특허 무효 판결 받다
유진테크가 코쿠사이의 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허 분쟁에서 승소했다. 특허법원은 코쿠사이의 특정 특허 1건을 무효라고 판결했다. 이는 특허심판원의 판단을 뒤집은 결과이다.
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코쿠사이-유진테크 특허 무효 여부 이달 심판 결과 발표 예정
코쿠사이와 유진테크 간의 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허 분쟁 중 코쿠사이 특허 1건에 대한 유효성 판단이 이달 하순 나올 예정이다. 이는 코쿠사이가 유진테크를 상대로 제기한 특허침해소송과 관련되어 진행되고 있다. 해당 분쟁은 특허심판원 …
