기계연 디지털 노광스캐너 개발로 유연전자소자 대량생산 기대
한국기계연구원에서 잘 휘어지는 반도체 기판에 회로를 연속적으로 새길 수 있는 디지털 마스크리스 노광 시스템을 개발했습니다. 이 기술은 실시간 패턴 보정이 가능한 디지털 리소그래피 스캐너 등을 포함합니다.이는 유연전자소자 대량 생산에 기여할 것으로 기대됩니다.
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